和書 492180 (119)
プラズマエレクトロニクス (インターユニバーシティ)
販売元： オーム社
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プラズマを学ぶ人なら一度はこの本を目にしているはず。
プラズマの基礎特性から産業応用まで一通りカバーしてます。
特に高周波放電(RF)については、DC放電よりもページ数を割いて説明してあり、
アンテナ結合の考え方から、CCPとICPについて、そして表面波やECRやヘリコンまで
載っています。特にCCPは自己バイアスや加熱モードについて詳しく載っているので、
スパッタやエッチングなどCCPをよく使う方にはちょうどいいと思います。
そして演習問題もちゃんと解答が載ってます(これは良書の最低条件だと思ってます)。
ただ残念なのは、産業応用としてエッチングやCVDの話をしているけど、具体的な装置構成
については載っていません(もちろんDC放電関係も)。あと、プラズマの特性を測定するのに
使うプローブ法や分光法もほとんど載っていないので、そこら辺は別の本でカバーしてください。
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論理回路とオートマトン (インターユニバーシティ)
販売元： オーム社
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インターネット商用化に向けて(CIX)―アメリカではいま
販売元： トッパン
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インターネット縦横無尽
販売元： 共立出版
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インテリジェント・センサ技術 (インテリジェント&コントロールシリーズ)
販売元： オーム社
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インバータ―しくみと使い方のコツ (DSライブラリー)
販売元： 電気書院
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インバータ―しくみと使い方のコツ (DSライブラリー)
販売元： 電気書院
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インバータ技術活用マニュアル
販売元： オーム社
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インバータ実用回路の設計と駆動ソフト
販売元： 総合電子出版社
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インバータ導入実戦ガイド (ユーザーズガイドシリーズ)
販売元： 電気書院
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